ASML否认曾向中国运送过极紫外线(EUV)扫描仪。

ASML已告知Tom's Hardware，声称其一台极紫外线(EUV)光刻系统尽管受出口限制仍被运往中国的说法既不准确，也对其声誉造成损害。此前有报道称，美国商务部长霍华德·卢特尼克(Howard Lutnick)质询高管，担心其中一台机器在违反出口限制的情况下被运往了中国。

据彭博社引述熟悉美国官员与ASML高管谈判的人士报道，该公司正在驳斥最近有关美国政府认为ASML的一台极紫外线(EUV)光刻系统可能已设法到达中国的指控。ASML否认任何不当行为，并声称它知道它建造的每台EUV工具的位置。

据报道，这一问题是在美国商务部长霍华德·卢特尼克与ASML高管的会议期间出现的。据彭博社引述熟悉讨论情况的人士说，卢特尼克质疑是否一个EUV系统可能已进入中国。这样的发展将代表出口管制的重大违反，因为根据瓦森纳协议，ASML不能向中国客户运送EUV光刻设备。实际上，中国的半导体制造国际公司(SMIC)购买的唯一EUV工具仍在荷兰。因此，ASML称这些指控为"毫无根据的"和"有害的"。

"近年来，ASML驳斥了多个关于在中国出口管制不合规的毫无根据的谣言，这些谣言不准确，也对我们的声誉造成了损害，"ASML的一位发言人告诉Tom's Hardware。

美国政府尚未公开提供证据表明完整的EUV扫描仪在中国运行。然而，几位高级政府官员告诉彭博社，他们掌握的信息表明ASML出口了与EUV系统相关的设备，包括用于"运输EUV机器"的专门系统。这些官员拒绝披露任何证据，理由是存在敏感性问题。

"ASML从未向中国运送过EUV机器，也未曾向中国运送过任何特别设计用于EUV机器的零部件、模块或设备，"该发言人告诉我们。

ASML的EUV扫描仪由10万个零部件组成，重180吨。它仅通过多架飞机进行空运，拦截这样的货运而不引起国际丑闻是不可能的。同时，考虑到机器的复杂性，用备用零件或废料制造一台是不可能的，或者像我们在12月报道的那样通过其零部件进行逆向工程也是不可能的。

彭博社声称ASML发布了一份内部演示文稿，标题为"没有证据表明任何ASML EUV系统在中国"，据称文稿指出全球目前有314个EUV系统在运行，另有26个已停用。根据该文件，没有一个位于中国。演示文稿进一步指出，EUV扫描仪持续与ASML通信，因此该公司可以检测中断、异常活动或连接问题。此外，由于需要专门的物流和处理要求，客户无法在没有ASML直接协助的情况下简单地拆卸、运输和重新安装EUV扫描仪。

ASML当然理解西方对中国的担忧，因此声称它从未向中华人民共和国运送过EUV工具，最初是由于瓦森纳协议，随后则是由于最近实施的出口管制。

"ASML定期与全球政府领导人进行透明、开放的对话，"ASML告诉我们。"我们认识到美国和荷兰出口管制法规背后的国家安全考量。作为一家公司，我们完全致力于遵守所有适用于我们商业活动的法律和法规，包括所有相关的出口管制法规，并且我们始终根据出口管制的发展调整业务，以确保遵守任何新规则。"